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Space Transformer

역할 : PCB와 MEMS Pin간 전기적 연결 및 MEMS Pin의 지지체 역할

구조
  - 10~70층, 층당 10K~100K의 via hole로 구성된 다층 세라믹
  - 외부전극 : Ti/Cu/Ni/Au 박막
  - 사이즈: 4”~12
  - 두께 : 3~6mm